在晶圆传输系统中，齐平螺母的作用至关重要。晶圆传输机械臂需要在洁净室环境下进行高精度的往复运动，任何微小的凸起或间隙都可能导致气流扰动，引发微粒污染。采用氧化锆陶瓷材质的齐平螺母连接机械臂关节与抓取装置，不仅能实现连接面的完全贴合（平面度误差≤0.005mm），其超低摩擦系数（0.15 以下）还能减少机械磨损产生的颗粒，同时陶瓷材质的绝缘性可避免静电对晶圆造成损伤。在 300mm 晶圆传输设备中，每个机械臂关节通常需 4-6 颗 M5 规格的齐平螺母，确保在高速运动（最高速度 2m/s）时仍保持连接稳定性。

真空腔体连接是齐平螺母的另一重要应用场景。半导体刻蚀、薄膜沉积等工艺需在 10⁻⁷Pa 的超高真空环境下进行，传统螺母的螺纹间隙易成为气体泄漏通道，而齐平螺母的紧密贴合结构能有效阻断泄漏路径。此时多选用 316L 不锈钢材质的齐平螺母，经电解抛光处理后表面粗糙度可达 Ra≤0.8μm，配合金属 C 形密封环使用，泄漏率可控制在 1×10⁻¹⁰Pa・m³/s 以下。在 PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备的腔体法兰连接中，一圈均匀分布的 M8 齐平螺母需按对角分步紧固法安装，确保腔体受压均匀，避免因应力变形影响真空度。

在光刻设备的精密部件连接中，齐平螺母的高精度特性得到极致发挥。光刻镜头的支撑结构需要微米级的定位精度，任何连接松动或形变都会导致光路偏移，影响光刻分辨率。采用钛合金材质的齐平螺母（抗拉强度≥900MPa）连接镜头模组与基座，其热膨胀系数

（8.6×10⁻⁶/℃）与陶瓷镜头座接近，可减少温度变化产生的应力。安装时需使用扭矩系数 0.12±0.01 的专用润滑剂，将 M4 规格螺母的紧固扭矩精确控制在 8-8.5N・m，并用激光干涉仪实时监测连接面的平面度变化，确保误差不超过 0.002mm/m。